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POLOS系列冲洗甩干机

简要描述:

POLOS系列冲洗甩干机湿法刻蚀又称为湿化学刻蚀法。它主要是借助刻蚀剂与待刻材料之间的化学反应将待刻膜层溶解,以达到刻蚀的目的。湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节

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OLOS系列冲洗甩干机

适用工艺(包括但不限于下述湿法制程)

  光刻胶显影

   SU8厚胶显影

   显影后清洗

   光刻机去除

   刻蚀微刻蚀处理

OLOS系列冲洗甩干机

系统参数表

 

POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段数:

无限制

无限制

无限制

   操作步数:

无限制

无限制

无限制

   旋转速度

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋转精度

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋转方向:

顺时针逆时针、交换摆动

顺时针,逆时针、交换摆动

顺时针,逆时针、交换摆动

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

1500rpm时取决于负载

   旋转时间

无限制*, ± 0.1S steps

无限制*, ± 0.1S steps

 

   基片范围:

260mm 直径or  6 方片

360mm 直径or  8 方片

460 mm直径or350mm方片

   腔体直径

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸

OLOS系列冲洗甩干机

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